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當前位置：首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 英國密析爾 > 高純氣分析儀 > Pura密析爾高純氣露點(diǎn)變送器氣體分析儀
簡(jiǎn)要描述：密析爾高純氣露點(diǎn)變送器氣體分析儀，在很多超純氣應用，諸如半導體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過(guò)程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來(lái)，對濕氣的持續追蹤測量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。
產(chǎn)品型號：Pura 廠(chǎng)商性質(zhì)：經(jīng)銷(xiāo)商更新時(shí)間：2023-10-08訪(fǎng)問(wèn)次數：971相關(guān)文章
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| 處理量 | 50L/D-20T/Dm3/h,0.01-1m3/h | 水泵功率 | 0.37kw |
|---|---|---|---|
| 額定電壓 | 220v | 揚程 | 10m |
| 測量范圍 | 100 | 儀器種類(lèi) | 熱導式 |
| 基本誤差 | 1%FS | 氣體流量 | 1ml/min |
| 外形尺寸 | 190*150*100mm | 顯示方式 | 數字式 |
| 電源電壓 | 24V | 產(chǎn)地 | 進(jìn)口 |
| 加工定制 | 是 |
密析爾高純氣露點(diǎn)變送器氣體分析儀，在很多超純氣應用，諸如半導體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對于過(guò)程處理的正常運作至關(guān)重要。一直以來(lái)，對濕氣的持續追蹤測量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟的、相當有效的方案，用來(lái)在線(xiàn)測量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗，結合標準工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導體制造行業(yè)和超純氣體應用的低價(jià)位變送器。
| 傳感器 | |
| 傳感器類(lèi)型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 |
| 量程 | -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗到 -100 ~ -40°C) |
| 精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) |
| 分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C |
| 壓力 | 低 10-9 torr; 大 24 MPa |
| 氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
| 電氣 | |
| 電源 | 通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA |
| 輸出 | 4-20 mA 輸出, 對應范圍可由軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供) 大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) |
| 輸出出錯狀態(tài) | 標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
| 機械性能 | |
| 傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內拋光 |
| 氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 |
| 安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(cháng), 氣路端口的端面密封. 無(wú)需預留管路空隙 底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶(hù)提供的 ½" VCR 端口中 |
| 尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm |
| 重量 | Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g |
| 包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨立包裝運輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作 |
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